真空热处理的真空系统一般由真空泵、真空阀、真空测量面、冷阱和管道组成。以下是一些常见的真空系统。
根据应用技巧和所需真空度，选择合适的真空泵。然后，根据真空泵的类型和规格，相应的真空阀、真空管等。然后形成所需的真空系统。一般来说，抽气量与真空泵的抽速有关。当真空热处理设备的容积确定后，就可以找出相应的抽速，进而选择真空泵。
真空热处理的真空体系，有以下三个基本要求。
1、能将设备抽至所要求的真空度。
2、应能及时地排出被处理工件和炉内结构件接连放出的气体，以及因真空走漏而进入炉内的气体。
3、运用操作、安装、维修保养要简洁，整个体系占地面积要小。
